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技術優(yōu)勢

實用性:

兼容:兼容MoNb/MTD/Ti等膜層。

便捷:一劑型,使用過程無需補液。

穩(wěn)定:壽命期間特性數(shù)據(jù)浮動小。

經(jīng)濟性:原料國產(chǎn)化。

安全性:壽命終點狀態(tài)下可保持48h無升溫。



技術儲備

高壽命:將原5000ppm銅離子壽命提升至7000ppm,藥液用量降低 29%。

Gate/ITO一步刻蝕:實現(xiàn)銅/ITO一步刻蝕,釋放ITO刻蝕設備產(chǎn)能。

NW工藝:用濕法蝕刻N+Asi替代干刻,釋放干刻產(chǎn)能。




開發(fā)、生產(chǎn)濕制程電子化學品及封裝材料

和其他電子行業(yè)特種功能性材料

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